ATSAML10E16A-F ATSAML10E16A-MF ATSAML10E16A-MFT ATSAML10E16A-MU ATSAML10E16A-MUT ATSAML10E16A-MZ ATSAML10E16A-MZT ATSAML10E16A-MZTVAO ATSAML10E16A-MZVAO ATSAML10E16A-UUT