ATXMEGA16A4U-CUR ATXMEGA16A4U-M7 ATXMEGA16A4U-M7R ATXMEGA16A4U-MH ATXMEGA16A4U-MHR ATXMEGA16A4U-MN ATXMEGA16A4U-MNR ATXMEGA16C4-AN ATXMEGA16C4-ANR ATXMEGA16C4-AU