ATXMEGA32D4P-MH ATXMEGA32D4-U ATXMEGA32E5-AN ATXMEGA32E5-ANR ATXMEGA32E5-AU ATXMEGA32E5-AUR ATXMEGA32E5-M4N ATXMEGA32E5-M4NR ATXMEGA32E5-M4U ATXMEGA32E5-M4UR