ATXMEGA64D3-MNR ATXMEGA64D3-MU ATXMEGA64D3-T1 ATXMEGA64D4-AN ATXMEGA64D4-ANR ATXMEGA64D4-AU ATXMEGA64D4-AUR ATXMEGA64D4-AURA0 ATXMEGA64D4-CU ATXMEGA64D4-CUR