ATXMEGA64D4-MH ATXMEGA64D4-MHR ATXMEGA64D4-MN ATXMEGA64D4-MNR ATXMEGA64D4-U ATXMEGA64L-8AU ATXMEGA89S8535-8AC ATXMEGA8AU2-AU ATXMEGA8AU2-MU ATXMEGA8E5-AN