ATSAML10E15A-MZT ATSAML10E15A-UUT ATSAML10E16A-AF ATSAML10E16A-AFT ATSAML10E16A-AU ATSAML10E16A-AUT ATSAML10E16A-AZ ATSAML10E16A-AZT ATSAML10E16A-F ATSAML10E16A-MF