ATXMEGA64D4-AURA0 ATXMEGA64D4-CU ATXMEGA64D4-CUR ATXMEGA64D4-H ATXMEGA64D4-MH ATXMEGA64D4-MHR ATXMEGA64D4-MN ATXMEGA64D4-MNR ATXMEGA64D4-U ATXMEGA64L-8AU